序号

设备名称

设备编号

1

普发分子泵机组

15000864

2

液晶器件参数综合测试仪

14007958

3

显微拉曼光谱仪升级套件

14007287

4

LCOS芯片测试仪

14006934

5

示波器

14006932

6

高速度数码显微系统

14001310

7

近场光学显微镜

14000383

8

扫描电镜在线测试样品台(纳米操控手)

13008884

9

半导体参数测试仪

13008307

10

探针台

13008289

11

激光雕刻机

13006280

12

二维色彩分析仪

13004807

13

烧结炉

20043348

14

眼动跟踪系统

11010573

15

磁控溅射台

11010110

16

高精度冷热台

13000020

17

点胶机

12003631

18

扫描探针显微镜(原子力)

12000903

19

箱式真空镀膜机

11012621

20

箱式真空镀膜机

11012620

21

64导事件相关电位系统

11010572

22

等离子增强化学气相沉积台

11010112

23

溅射镀膜设备

20043332

24

32寸丝网印刷机

20043352

25

等离子增强化学气相沉积台

11010111

26

直流电弧镀装置

11002981

27

亮度测试仪

20045162

28

32绑定机

20043345

29

场发射扫描电子显微镜

20101206

30

PDP电极修补仪

20061096

31

镀膜机(大面积电子束蒸发台)

20050119

32

镀膜机(大面积电子束蒸发台)

20014650

33

分光辐射仪

20050810

34

化学气相沉积系统

20096167

35

检测台

20043339

36

电子束蒸发台

20043335

37

全相位光调制光学平台

20040401

38

通道式烘干机

20043347

39

自动清洗机

20043338

40

8寸丝网印刷机

20043351